電子工業(yè)廠房潔凈空調(diào)系統(tǒng)施工監(jiān)理的控制要點(diǎn)
發(fā)布日期：2016-04-11 來源：《上海設(shè)備管理》
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隨著我國經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，高端制造業(yè)的集成電路生產(chǎn)企業(yè)發(fā)展迅猛，該型企業(yè)對(duì)生產(chǎn)車間的潔凈度要求非常嚴(yán)格，潔凈度水平會(huì)直接對(duì)產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量產(chǎn)生影響，所以潔凈室是電子工業(yè)廠房的核心部位。為了達(dá)到潔凈度要求，潔凈室內(nèi)的溫、濕度和氣流組織均需嚴(yán)格控制，采用帶多級(jí)過濾器和加溫器的空調(diào)系統(tǒng)向潔凈室內(nèi)送風(fēng)，以消除室內(nèi)的熱（冷）濕負(fù)荷和塵埃污染，使室內(nèi)空氣潔凈度滿足生產(chǎn)的需要。所以潔凈空調(diào)系統(tǒng)的安裝施工質(zhì)量對(duì)電子工業(yè)廠房至關(guān)重要。
本文對(duì)潔凈空調(diào)系統(tǒng)施工監(jiān)理的控制重點(diǎn)結(jié)合實(shí)際工程案例進(jìn)行分析，并探討施工過程中出現(xiàn)問題的原因及解決方案。
一、電子工業(yè)潔凈空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)
1、電子工業(yè)潔凈空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)負(fù)荷較大：在潔凈廠房投入生產(chǎn)后，常常會(huì)產(chǎn)生熱濕負(fù)荷、有害氣體和塵埃。為了確保廠房的“潔凈性”以及安全性，需要及時(shí)消除熱濕負(fù)荷、排出有害氣體和塵埃，為了能夠確保排風(fēng)效率的理想與可靠，就需要加大空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量。與空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷以及工藝設(shè)備散熱負(fù)荷相比，新風(fēng)冷負(fù)荷所占比例最大。
2、電子工業(yè)潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)全壓比較高：為了滿足潔凈廠房的要求，空調(diào)系統(tǒng)需要配置多級(jí)過濾器，導(dǎo)致系統(tǒng)總阻力值提高。為了能夠克服過濾系統(tǒng)的阻力，就需要對(duì)空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)風(fēng)壓進(jìn)行合理提升。
二、工程概況
諾得卡（上海）微電子有限公司三樓擴(kuò)建項(xiàng)目，位于上海市漕河涇開發(fā)區(qū)8號(hào)樓，總建筑面積1691 平方米。生產(chǎn)車間、工程備件室、QA 室和更衣室為凈化空調(diào)區(qū)域，潔凈度要求為N（7） 級(jí)（≥0.5μm）。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用由室外直接引進(jìn)新風(fēng)，隨后再與回風(fēng)混合進(jìn)入凈化空調(diào)箱進(jìn)行進(jìn)一步處理，包括冷卻除濕、加熱、加濕以及過濾等過程。處理后的空氣最終經(jīng)過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。高效過濾器的過濾級(jí)別為H13，MPPS 效率不小于99.95%，對(duì)0.3 μm DOP 粒子的效率不小于99.99%。潔凈室氣流組織為頂送側(cè)回。
三、潔凈空調(diào)系統(tǒng)監(jiān)理控制的重點(diǎn)
（一）材料、設(shè)備和配件
潔凈空調(diào)系統(tǒng)的材料、設(shè)備和配件進(jìn)場時(shí)需進(jìn)行驗(yàn)收，驗(yàn)收合格后才能進(jìn)行安裝施工。材料、設(shè)備和配件的進(jìn)場驗(yàn)收包括：檢查相應(yīng)的資料是否完整并在有效期內(nèi)、質(zhì)量和外觀是否符合設(shè)計(jì)及規(guī)范要求等。
1、資料檢查
進(jìn)場材料、設(shè)備和配件需檢查的資料主要包括：廠家的營業(yè)執(zhí)照、資質(zhì)、出廠檢驗(yàn)合格證、質(zhì)量證明書或檢測報(bào)告，按規(guī)定需要現(xiàn)場見證取樣進(jìn)行復(fù)試的材料和設(shè)備還需復(fù)試報(bào)告合格后才能驗(yàn)收。
2、材料、設(shè)備質(zhì)量控制
（1）空調(diào)風(fēng)管材料
本工程風(fēng)管材料為鍍鋅鋼板，鍍鋅鋼板的規(guī)格、性能與厚度應(yīng)符合設(shè)計(jì)及規(guī)范要求。鍍鋅鋼板的鍍鋅層應(yīng)在100號(hào)以上（雙面三點(diǎn)試驗(yàn)平均值不小于100g/平方米），表面無裂紋、結(jié)疤及劃傷，無明顯氧化層、針孔、麻點(diǎn)、起皮和鍍層脫落等缺陷。
（2）空調(diào)水管材料
本工程空調(diào)水系統(tǒng)管道設(shè)計(jì)為鍍鋅鋼管，材料進(jìn)場時(shí)，隨機(jī)抽取樣本，檢查管道表面是否平滑、無結(jié)瘤、無露鐵現(xiàn)象，管道的規(guī)格、厚度是否符合設(shè)計(jì)要求。
（3）風(fēng)管和水管保溫材料
空調(diào)風(fēng)管和水管采用橡塑保溫，檢查橡塑材料的厚度與防火等級(jí)是否符合設(shè)計(jì)和規(guī)范要求，并且材料在現(xiàn)場見證取樣送檢復(fù)試。
（4）設(shè)備驗(yàn)收
本工程主要設(shè)備為風(fēng)冷螺桿制冷機(jī)組（內(nèi)置水泵）、凈化空調(diào)箱。設(shè)備進(jìn)場進(jìn)行開箱檢驗(yàn)，必須有裝箱清單、設(shè)備說明書、產(chǎn)品質(zhì)量合格證書和性能檢測報(bào)告等隨機(jī)文件，同時(shí)檢查設(shè)備的外觀是否有損傷，規(guī)格、型號(hào)、銘牌參數(shù)是否符合設(shè)計(jì)要求。
（二）風(fēng)系統(tǒng)質(zhì)量控制重點(diǎn)
本工程潔凈空調(diào)風(fēng)系統(tǒng)有兩條主送風(fēng)管和兩條主回風(fēng)管，風(fēng)管的加工制作及安裝質(zhì)量直接影響整個(gè)凈化系統(tǒng)的運(yùn)行。由于潔凈空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)量大、風(fēng)機(jī)全壓高，對(duì)風(fēng)管的潔凈度和氣密性要求高，所以風(fēng)管的制作、安裝工藝和環(huán)境比民用空調(diào)要求更嚴(yán)格。因此風(fēng)管的制作、安裝質(zhì)量是本工程監(jiān)理的控制重點(diǎn)。
1、風(fēng)管制作
（1）風(fēng)管制作有專用場地，其房間應(yīng)清潔、封閉。工作人員穿干凈工作服和軟性工作鞋。
（2）風(fēng)管采用鍍鋅鋼板制作，不允許有橫向接縫，所有咬口縫翻邊處、鉚釘處都必須涂密封膠，風(fēng)管的加固筋不允許設(shè)在風(fēng)管內(nèi)，風(fēng)管制作完成后用中性清洗液沖洗，干燥后用塑料膜封口待安裝，只允許在安裝時(shí)拆開風(fēng)管端口封膜。
（3）風(fēng)管采用法蘭連接，鍍鋅鋼板翻邊應(yīng)平整，并緊貼法蘭，翻邊寬度不應(yīng)小于7 mm。
（4）鍍鋅鋼板風(fēng)管不應(yīng)損壞鍍鋅層，若有損壞，損壞處（如咬口、折邊、焊接處等）應(yīng)刷涂優(yōu)質(zhì)防銹涂料兩遍。
2、風(fēng)管安裝
（1）由于風(fēng)管的尺寸較大，根據(jù)“先大后小”原則，風(fēng)管安裝應(yīng)先于其他管線安裝。
（2）風(fēng)管安裝前應(yīng)測量風(fēng)管交匯處管底的標(biāo)高是否影響吊頂高度，必要時(shí)調(diào)整風(fēng)管尺寸。
（3）法蘭密封墊應(yīng)選用彈性好、不透氣、不產(chǎn)塵、多孔且閉孔的材料制作。不得采用乳膠海綿、泡沫塑料、厚紙板等含開孔孔隙和易產(chǎn)塵、易老化的材料制作。密封墊厚度宜為5 mm～8 mm。不得在密封墊表面刷涂料。
（4）密封墊應(yīng)擦拭干凈后涂膠粘牢在法蘭上，不得拉伸，不得有隆起或虛脫現(xiàn)象。法蘭均勻壓緊后，密封墊內(nèi)側(cè)應(yīng)與風(fēng)管內(nèi)壁齊平。
（5）法蘭上各螺栓的擰緊力矩應(yīng)大小一致，并應(yīng)對(duì)稱逐漸擰緊，安裝后不應(yīng)有擰緊不勻的現(xiàn)象。
（6）風(fēng)管和部件應(yīng)在安裝時(shí)拆卸封口，且立即連接。當(dāng)施工停止或完畢時(shí)，應(yīng)將端口封好，若安裝時(shí)封膜有破損，安裝前要將風(fēng)管內(nèi)壁再擦拭一遍。
（7）風(fēng)管系統(tǒng)不得作為其他負(fù)荷的吊掛架，支風(fēng)管的重量不得由干管承受，送風(fēng)末端應(yīng)獨(dú)立設(shè)置可調(diào)節(jié)支架。
3、部件安裝
（1）風(fēng)閥、消聲器等部件安裝時(shí)應(yīng)清除內(nèi)表面的油污和塵土。
（2）風(fēng)管內(nèi)安裝的定、變風(fēng)量閥，入口前后直管長度不應(yīng)小于該風(fēng)量閥產(chǎn)品要求的安裝長度，安裝方向與指示相同。
（3）消聲器、消聲彎頭在安裝時(shí)應(yīng)單獨(dú)設(shè)支、吊架。
（4）消聲直段應(yīng)安裝在氣流平穩(wěn)的直管段上。
（5）潔凈空調(diào)系統(tǒng)絕熱工程施工應(yīng)在系統(tǒng)嚴(yán)密性檢驗(yàn)合格后進(jìn)行。
4、送風(fēng)末端裝置的安裝
（1）本工程送風(fēng)末端為高效過濾器，應(yīng)在系統(tǒng)新風(fēng)過濾器安裝完畢并可運(yùn)行、對(duì)潔凈室空調(diào)設(shè)備安裝空間和風(fēng)管進(jìn)行全面徹底清潔、對(duì)風(fēng)管空吹12h之后安裝。
（2）系統(tǒng)空吹時(shí)，關(guān)閉新風(fēng)采用循環(huán)風(fēng)，并在回風(fēng)口設(shè)置相當(dāng)于中效過濾器的預(yù)過濾裝置，全風(fēng)量空吹完畢后撤走。
（3）空吹完畢后再次清掃、擦凈潔凈室，再立即安裝高效過濾器。
（4）高效過濾器安裝過程中，室內(nèi)不得進(jìn)行帶塵、產(chǎn)塵作業(yè)，安裝完后應(yīng)用塑料薄膜將出風(fēng)面封住，暫時(shí)不上擴(kuò)散板等裝飾件。
5、設(shè)備安裝質(zhì)量控制重點(diǎn)
（1）安裝空調(diào)設(shè)備時(shí)應(yīng)檢查規(guī)格、型號(hào)、方向和功能段是否符合設(shè)計(jì)要求，對(duì)空調(diào)箱內(nèi)部進(jìn)行清潔、除去灰塵、雜物和油污。
（2）監(jiān)理在審圖時(shí)發(fā)現(xiàn)本工程安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面，未設(shè)計(jì)防水處理，地面未設(shè)計(jì)擋水線，且缺少冷凝水排水管，向設(shè)計(jì)方提出后進(jìn)行了修改。
（3）本工程的空調(diào)設(shè)備表冷器在負(fù)壓段，未設(shè)計(jì)設(shè)備水泥底座，且高度不宜低于200 mm。監(jiān)理提出后，設(shè)計(jì)方進(jìn)行了修改。
（4）空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)獨(dú)立支吊架，不得在空調(diào)機(jī)組壁開設(shè)固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機(jī)組壁板間應(yīng)做好絕熱、密封處理。
（三）水系統(tǒng)安裝質(zhì)量控制重點(diǎn)
本工程的空調(diào)水系統(tǒng)不在潔凈區(qū)內(nèi)，但水系統(tǒng)的安裝質(zhì)量直接影響空調(diào)系統(tǒng)的使用功能，從而影響生產(chǎn)線的產(chǎn)品質(zhì)量。因此嚴(yán)格控制空調(diào)水系統(tǒng)的安裝質(zhì)量，也是本次監(jiān)理工作的重點(diǎn)。
本工程采用風(fēng)冷螺桿熱泵機(jī)組作為冷（熱）源，內(nèi)置水泵，水系統(tǒng)為閉式系統(tǒng)，水管采用鍍鋅鋼管。
1、管道安裝
（1）管道的位置、標(biāo)高應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，支、吊架的設(shè)置應(yīng)合理，并符合規(guī)范要求。
（2）鍍鋅鋼管轉(zhuǎn)彎時(shí)應(yīng)采用彎頭連接，不得采用熱煨彎。
（3）管道與水泵、螺桿機(jī)組的接管必須采用柔性短管連接，且與柔性短管中心對(duì)齊、松緊適度，不得強(qiáng)行對(duì)口連接，柔性短管處應(yīng)設(shè)獨(dú)立支架。
（4）本工程中管徑不大于DN80的鍍鋅鋼管采用螺紋連接，螺紋應(yīng)規(guī)整，斷絲或缺絲不大于螺紋全數(shù)的10%；連接后露絲部位應(yīng)做防腐處理。
（5）本工程冷凝水排水管采用PVC管，檢查是否符合設(shè)計(jì)坡度8%的要求，施工完成后進(jìn)行灌水試驗(yàn)，要求排水通暢、無滲漏。
（6）供回水管道與支、吊架之間，用防腐木塊做絕熱襯墊，其厚度不應(yīng)小于保溫層厚度。
（7）管道安裝的位置、標(biāo)高應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。
（8）管道安裝完畢后，應(yīng)按規(guī)范要求對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行水壓試驗(yàn)。本工程空調(diào)水系統(tǒng)工作壓力小于1.0 MPa，試驗(yàn)壓力為1.5倍工作壓力。
2、管道閥門安裝
（1）閥門的安裝位置、標(biāo)高和進(jìn)出口方向必須符合設(shè)計(jì)要求。
（2）供回水干管上起到切斷作用的閘閥，必須按規(guī)范進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性試驗(yàn)，合格后才能使用。
（3）閥門安裝的位置應(yīng)便于操作、啟閉靈活。
（4）水過濾器的安裝方向應(yīng)正確，且便于拆裝和清洗濾網(wǎng)。
四、結(jié)語
潔凈廠房是科學(xué)技術(shù)進(jìn)步、社會(huì)發(fā)展的必然需求。而實(shí)現(xiàn)潔凈廠房的手段就是使用潔凈空調(diào)系統(tǒng)達(dá)到空氣潔凈度要求，以滿足生產(chǎn)工藝的需要。到目前為止，對(duì)潔凈空調(diào)工程監(jiān)理的理論研究較少，還沒有配套的指導(dǎo)性文件。在監(jiān)理實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，作為監(jiān)理依據(jù)的設(shè)計(jì)院設(shè)計(jì)圖紙，經(jīng)常未考慮潔凈空調(diào)系統(tǒng)的特殊性，設(shè)計(jì)中存在一些遺漏（如本工程中未設(shè)計(jì)機(jī)房防水處理），設(shè)計(jì)圖在現(xiàn)場無法全部實(shí)現(xiàn)。在本工程中，筆者作為監(jiān)理，以自己的工程經(jīng)驗(yàn)，施工前做好圖紙審查，施工過程中從材料和設(shè)備進(jìn)場驗(yàn)收、風(fēng)系統(tǒng)安裝、水系統(tǒng)安裝三個(gè)方面嚴(yán)控施工質(zhì)量，使?jié)崈艨照{(diào)系統(tǒng)達(dá)到了預(yù)期的效果。在以后的監(jiān)理實(shí)踐中，將進(jìn)一步探索潔凈空調(diào)的監(jiān)理方法。
作者：呂坤 單位：上海同濟(jì)工程項(xiàng)目管理咨詢有限公司
